機器消耗品市場

商品情報

　　

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商品NO	1847	商品名	マグネトロンスパッタ装置	メーカー	（株）真空デバイス	管理	（株）真空デバイス
		型式	MSP-12S	価格		商品問合せ
特徴	１２インチウェハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング電圧 500V 以下でイオンダメージを軽減するマグネトロン方式を採用。オートコーティング機能で脱ガスから雰囲気ガス導入・コーティングまで全自動。試料の出し入れが簡単な前方スライド式試料ステージを搭載。Ag ターゲットを装着すれば、透明フィルムなどの光沢処理も簡単に可能。					カタログ
仕様	電源：単相ＡＣ１００Ｖ１５Ａアース線付き３芯プラグ装置サイズ：Ｗ４５０ｍｍｘＤ４４０ｍｍｘＨ４２７ｍｍ装置重量：３０ｋｇロータリーポンプサイズ：Ｗ２３４ｍｍｘＤ５００ｍｍｘＨ２６４ｍｍロータリーポンプ重量：Ｇ－１０１Ｄ　２５ｋｇコーティング室サイズ：内径３３０ｍｍ、高さ８０ｍｍターゲット電極サイズ：直径３００ｍｍ試料ステージ：直径３００ｍｍ
備考	ターゲット電極の大きさは直径５０ｍｍ。可動式ターゲットにより、１２インチウェハーのような大面積サンプルの一部分をコーティングしたい場合に活躍致します。電極を小型化することによりランニングコストを抑えられます。また、大きなウェハーを割る必要もありません。			管理NO

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